臺階儀dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
規格： 
測試技術：探針輪廓技術
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，usb；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（lis 3）
探針壓力：使用lis 3傳感器：1至15 mg
使用n-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物臺：手動x/y/@：100*100 mm, 360度旋轉，可手動校平；
可選y自動移動載物臺，100 mm行程，1um重現性，0.5 um分辨率；
可選x-y自動移動載物臺，150 mm行程；
1um重現率，0.5 um 分辨率
計算機系統：主機使用celeron或者semprom處理器
軟件：dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應力測量軟件
可選三維vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度范圍 55mm（2.1英寸）
每次掃描數據點zui多12萬數據點
zui大樣品厚度高達90 mm （4英寸），取決于配置
zui大晶圓尺寸 150 mm（6英寸）
臺階高度重現性 6埃
垂直范圍：標準524um（0.02英寸）；可選1mm
垂直分辨率：zui大1a（6.55um垂直范圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓： 100-120vac/200-240vac, 50-60 hz
無論是用于科學研究還是工業生產，dektak 150探針式表面輪廓儀都具有業內的表現性能，zui高的測量重復性以及zui大的掃描范圍。dektak 150集四十多年的技術積累和創新于一身，為滿足用戶不同應用方向的需要提供了多種可選配置。堅固的鋁質材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。基于windows?xp的軟件用戶界面，使用戶迅速掌握dektak 150。分析功能齊全，界面直觀，包括從簡便的一鍵"進針即測量"，到多次掃描結果的自動分析。通過選配三維成像附件套裝還可以*地擴充儀器的功能。